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濺射靶材和濺射鍍膜的制造原理


濺射板材是目前二十一世紀工業基礎不可或缺的精密合金材料,在很多領域濺射靶材發揮著重要的作用,無論是高純度濺射板材、非金屬單質靶材、合金靶材、化合物靶材都在各大行業應用廣泛,融入目前科技發展的最基礎研發領域,可以說濺射靶材無處不在;

濺射(Sputtering)鍍膜技術利用離子源產生的離子,在高真空中經過加速聚集,而形成高速度能的離子束流,轟擊固體表面,離子和固體表面原子發生動能交換,使固體表面的原子離開固體并沉積在基底表面而形成薄膜材料。被轟擊的固體原料是用濺射法沉積薄膜的原材料,稱為濺射靶材。

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濺射靶材具有高純度、高密度、多組元、晶粒均勻等特點,一般由靶坯和背板組成。

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濺射靶材的分類;

按使用的原材料材質不同,濺射靶材可分為金屬/非金屬單質靶材、合金靶材、化合物靶材等。濺射鍍膜工藝可重復性好、膜厚可控制,可在大面積基板材料上獲得厚度均勻的薄膜,所制備的薄膜具有純度高、致密性好等優點,已成為制備薄膜材料的主要技術之一,濺射靶材亦已成為目前市場應用量最大的PVD鍍膜材料。

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濺射鍍膜和真空蒸發鍍膜是最主流的兩種PVD鍍膜方式,PVD技術是制備薄膜材料的主要技術之一, 用于制備薄膜材料的物質被稱為PVD鍍膜材料。經過多年發展,PVD鍍膜技術被廣泛用于應用于電子、光學、機械、建筑、材料等領域。


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